下载一种低缺陷高透光率金刚石生长方法和系统的技术资料

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本发明涉及一种低缺陷高透光率金刚石生长方法和系统。一种低缺陷高透光率金刚石生长方法,包括步骤:阶段通入氧气:对籽晶表面进行预处理后放入生长仓中,通入一定功率的微波后通入氢气和氧气对籽晶进行表面刻蚀15‑60min;然后,停止通入氧气,通入一...
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