下载一种陶瓷高温真空烧结炉真空系统的技术资料

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本实用新型公开了一种陶瓷高温真空烧结炉真空系统,包括机械泵、罗茨真空泵和粉尘过滤装置;所述粉尘过滤装置的入口端经过高真空挡板阀与真空烧结炉连通,粉尘过滤装置的出口端通过真空管路与罗茨真空泵的进气口连通,罗茨真空泵的出气口通过电磁放气阀与机械...
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