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本实用新型提供一种新型加热体上盖散热装置，包括上腔、引极法兰、引极法兰锁紧装置、上腔进水嘴、上腔出水嘴、加热体，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：结构设计合理，加热体升高温完成工艺生长后，可以通过气缸将保温端口直接提起，这样加热...
该专利属于青岛精诚华旗微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛精诚华旗微电子设备有限公司授权不得商用。

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