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本实用新型公开了一种原子级别粉末改性设备，包括前驱体源注入管、滑动座、不锈钢旋转腔和石英玻璃反应腔室主体，所述滑动座内部的两端均设置有滑动槽，且滑动槽的内部均设置有底座，所述压力传感器和控制柜的输出端均通过导线与PLC控制系统的输入端电性连...
该专利属于江苏迈纳德微纳技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏迈纳德微纳技术有限公司授权不得商用。

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