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本申请公开了一种垂直腔面发射激光器，包括垂直腔面发射激光器组件、位于垂直腔面发射激光器组件表面的第一绝缘层、位于第一绝缘层的上表面的加热组件；加热组件包括金属层、接线垫、连接金属层和接线垫的导线；垂直腔面发射激光器组件包括从下至上依次分布的...
该专利属于长春中科长光时空光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春中科长光时空光电技术有限公司授权不得商用。

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