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本发明公开了一种分体式局部洁净环境制造装置，包括洁净送风模块和洁净空间模块，洁净送风模块包括洁净风箱、风机和过滤组件，洁净空间模块包括层流罩以及呈扁平结构的匀流箱，匀流箱通过风管与洁净风箱连通，匀流箱上均匀分布有匀流箱出风小孔，匀流箱中设置...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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