下载基于双控制栅的复合介质栅可控自增益光敏探测器件的技术资料

文档序号:23402791

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本发明公开了一种基于双控制栅的复合介质栅可控自增益光敏探测器件。该器件包括复合介质栅、MOS电容和感光晶体管,复合介质栅的P型基底上方依次设有底层介质层、浮栅和顶层介质层,顶层介质层上方设有MOS电容的控制栅极和感光晶体管的控制栅极,感光晶...
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