下载三维铁电存储器件的技术资料

文档序号:23402647

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本发明公开了三维(3D)铁电存储器件和用于制造三维铁电存储器件的方法的实施例。在一实施例中,三维铁电存储器件包括衬底和多个铁电存储单元,每个铁电存储单元都在衬底之上垂直延伸。每个铁电存储单元包括电容器和与电容器电连接的晶体管。电容器包括第一...
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