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本发明公开了一种底排空多通阀,包括阀体,所述阀体的内部设有第一腔室,所述第一腔室外部一侧设有第一管道,所述第一腔室的另一侧设有第二腔室,所述第二腔室的顶部设有第二管道,所述第二腔室的一侧设有第三腔室。本发明设置有第一执行器、第二执行器、第三...该专利属于昆山新莱洁净应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山新莱洁净应用材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种底排空多通阀,包括阀体,所述阀体的内部设有第一腔室,所述第一腔室外部一侧设有第一管道,所述第一腔室的另一侧设有第二腔室,所述第二腔室的顶部设有第二管道,所述第二腔室的一侧设有第三腔室。本发明设置有第一执行器、第二执行器、第三...