下载超精密微结构散热片的制备方法的技术资料

文档序号:23394210

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种超精密微结构散热片的制备方法,包括:在硅片表面刻蚀出微结构的凸块或凹孔,得到硅片模具;将硅片模具上的微结构转印至透明基材上;将透明基材上的微结构转印到金属层上,金属层表面得到通过胶层转印的微结构;刻蚀掉微结构底部与金属层接触...
该专利属于苏州胜利精密制造科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州胜利精密制造科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。