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本实用新型主要应用于半导件外延生长设备，具体涉及一种用于碳化硅外延的隔热罩装置。包括相互套设的内筒与外筒；内筒与外筒之间形成空腔；内筒内设有石墨基座，石墨基座外部套设有石墨毡；外筒外部设有若干感应加热器，感应加热器与石墨基座相连；外筒外部一...
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