下载加工基板的搬送装置的技术资料

文档序号:23375024

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本实用新型提供加工基板的搬送装置,可在不使基板表面脏污或受损下进行搬送。本实用新型的解决机构为一种加工基板的搬送装置,包括:包括并列棒材2的第一平台B;棒材2上的基板A的吸取保持机构D;在第一平台B与其前方间以进退移动机构F移动的移动体G;...
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