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本实用新型公开了多自由度可控的扫描电镜内置夹具，包括底座(3)、支撑台(8)、电机(2)、工作台(7)和第一支撑轴(4)，底座(3)上设置呈三角分布的第一支撑轴(4)，工作台(7)通过电磁夹(5)套设在第一支撑轴(4)上，电磁夹(5)下方设...
该专利属于扬州大学所有，仅供学习研究参考，未经过扬州大学授权不得商用。

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