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一种表晶圆柱体的除油装置制造方法及图纸
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下载一种表晶圆柱体的除油装置的技术资料
文档序号:23372003
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本实用新型公开了一种表晶圆柱体的除油装置,属于除油技术领域。所述表晶圆柱体的除油装置包括:驱动电机的固定端设置在机架上,驱动电机的输出端设置有第一齿轮;若干滚动机构与若干滚筒一一对应,滚筒设置在相对应的滚动机构上;滚动机构包括:两个滚轴;两...
该专利属于烟台和锦电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台和锦电子有限公司授权不得商用。
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