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一种微机电(MEMS)法布里‑珀罗干涉仪(100)，包括透明基板(110)；第一金属镜结构(120)，其位于透明基板(110)上，包括第一金属层(121)和第一支撑层(122‑123)；第二金属镜结构(130)，考虑到透明基板(110)，该...该专利属于芬兰国家技术研究中心股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过芬兰国家技术研究中心股份公司授权不得商用。
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一种微机电(MEMS)法布里‑珀罗干涉仪(100)，包括透明基板(110)；第一金属镜结构(120)，其位于透明基板(110)上，包括第一金属层(121)和第一支撑层(122‑123)；第二金属镜结构(130)，考虑到透明基板(110)，该...