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本发明属于探测器芯片制造技术领域,涉及一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管;台面型光电二极管从上至下叠次连接的N型台面、吸收台面以及P型台面;每个台面的表面覆盖钝化层;在台面型光电二极管的吸收台面中设置有分级势垒层,分级势垒层从上到下共九层...该专利属于中国电子科技集团公司第四十四研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十四研究所授权不得商用。
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本发明属于探测器芯片制造技术领域,涉及一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管;台面型光电二极管从上至下叠次连接的N型台面、吸收台面以及P型台面;每个台面的表面覆盖钝化层;在台面型光电二极管的吸收台面中设置有分级势垒层,分级势垒层从上到下共九层...