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本发明提供的一种稀土六硼化物场发射尖锥阵列的加工方法，是通过激光复合电化学刻蚀加工稀土六硼化物场发射尖锥阵列，利用激光加工技术加工尖锥结构的雏形，再利用电化学刻蚀法进一步提高尖锥结构的曲率半径和表面质量，将激光加工技术和电化学刻蚀法有机复合...
该专利属于中国航空制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空制造技术研究院授权不得商用。

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