下载一种梳齿电容式微机电加速度计结构的技术资料

文档序号:23362711

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种梳齿电容式微机电加速度计结构。结构包括梳齿组、质量块、挠性梁、挠性梁支撑杆和梳齿支撑杆。质量块为“日”字型框体结构,梳齿组为变间隙的梳齿组,构成梳齿组的单根梳齿为交叠区齿宽渐变的5边形齿。梳齿组交叉分布在质量块框体的内外两侧组...
该专利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。