下载一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置的技术资料

文档序号:23350228

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极,所述放电室的主体为圆柱形管状结构,且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极,所述放电室的左右两端分别套接有圆盘...
该专利属于合肥杰硕真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥杰硕真空科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。