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一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置制造方法及图纸
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下载一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置的技术资料
文档序号:23350228
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本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极,所述放电室的主体为圆柱形管状结构,且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极,所述放电室的左右两端分别套接有圆盘...
该专利属于合肥杰硕真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥杰硕真空科技有限公司授权不得商用。
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