下载一种RC-IGBT半导体器件的技术资料

文档序号:23347145

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本发明公开了一种RC‑IGBT半导体器件,在1个半导体衬底形成有IGBT和FWD,IGBT具有p型基极层和n型漂移层和多个沟槽栅极结构,栅电极穿过p型基极层,p型基极层由栅电极分成多个间隔区域;在间隔区域中,p型基极层上表面设置有p+发射极...
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