下载用于碳化硅功率半导体器件上的背侧欧姆接触的碳受控欧姆接触层的技术资料

文档序号:23346864

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本发明题为“用于碳化硅功率半导体器件上的背侧欧姆接触的碳受控欧姆接触层”。本发明公开了一种半导体功率器件,所述半导体功率器件可包括在其第一表面上形成有有源功率器件的碳化硅SiC层。可在所述SiC层的第二相对表面上形成欧姆接触层,所述欧姆接触...
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