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本发明公开了一种光刻机系统及光刻方法，光刻机系统包括一中央光源模块，多个光刻机主机，光源传输模块及光源控制模块，中央光源模块通过光源传输模块连接光源控制模块，光源控制模块通过光源传输模块分别连接各光刻机主机，光源控制模块从中央光源模块所提供...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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