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本发明公开了基于光栅狭缝波导复合结构的传感器，传感器包括：衬底，包括相对的第一表面和第二表面，第一表面凹陷以形成第一凹槽，衬底还包括至少两个贯穿第二表面和第一凹槽底面的通孔；介质层，盖设于第一表面上，且介质层与第一凹槽相对；金属层，设置于第...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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