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本发明涉及一种锑化铟单晶片的抛光方法，属于光电材料技术领域。所述方法对锑化铟单晶片抛光过程中精抛溶液的配方进行设计，利用精抛溶液的化学作用，配合精密抛光机中抛光盘的机械作用，通过严格控制转速、压力以及精抛溶液的滴速，进行锑化铟单晶片的超精密...
该专利属于云南北方昆物光电科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南北方昆物光电科技发展有限公司授权不得商用。

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