下载一种具有高稳定性的光路系统升降机构的技术资料

文档序号:23329812

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本发明公开了一种具有高稳定性的光路系统升降机构,所述光路系统包括激光器、扩束镜、振镜和场镜,所述光路系统安装于Z轴方箱滑台上表面上,所述Z轴方箱滑台内装设有Z轴方箱,所述升降机构用于带动Z轴方箱升降运动,其特征在于,所述升降机构包括装设于所...
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