温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的气体供应系统配备有气罐装置，该气罐装置具有将处理气体供应到处理室的气动阀，和通过向所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀的电磁阀；和控制电磁阀的致动的气体供应控制装置。另外，所述气体供应控制装置包括主控制器，其在正...
该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。