下载具有第IVA族离子注入的MOSFET的结构与制造方法的技术资料

文档序号:23317302

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本发明揭露一种具有第IVA族离子注入的MOSFET的结构与制造方法,第IVA族离子注入层设置于基极之中,且第IVA族离子注入层接近于该栅极氧化层与该基极的交界面;其中,第IVA族离子注入层用来改变结构的一通道的性质。本发明提出的第IVA族离...
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