下载介电膜及其制备方法的技术资料

文档序号:23316999

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本发明涉及介电膜及其制备方法。制备方法包括采用第一材料和第二材料的界面电荷积累模型,获得所述第一材料和所述第二材料的厚度比以及所述第一材料和所述第二材料之间的界面的漏电电荷面密度;制备由所述厚度比的所述第一材料和所述第二材料形成的介电膜。本...
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