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可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计制造技术
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文档序号:23313604
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一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计,包括:第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构,谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连;所述的谐振结构包括:电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器,以及灵敏度调节谐振器。第一质...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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