下载一种时域频域联合分析宽光谱相干测量方法及系统的技术资料

文档序号:23312653

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本发明属于微纳结构三维表面形貌测量领域,具体为一种时域频域联合分析宽光谱相干测量方法及系统,方法包括获取一系列的采样干涉条纹图像,分别提取像素点所对应的原始扫描信号;对该扫描信号分别进行时域调制度分析,提取出扫描信号的调制度曲线,通过调制度...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。

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