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本发明涉及一种用于干涉地确定两个对象的相对距离的光学测位装置，所述两个对象能沿着至少一个测量方向相对于彼此运动。在这种情况下，由光源发射的光束被分成至少两条部分光束，所述至少两条部分光束紧接着在分开的光路上加载一个或多个光栅并且在此经历与距...
该专利属于约翰内斯·海德汉博士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰内斯·海德汉博士有限公司授权不得商用。

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