下载局域接触钝化太阳电池的制备方法的技术资料

文档序号:23290644

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本发明属于太阳能电池制备技术领域,尤其涉及一种局域接触钝化太阳电池的制备方法。本发明,依次包括制绒、隧穿氧化硅沉积、掺磷非晶硅栅线印刷、烘干、清洗、磷扩散、刻蚀、钝化层生长、激光开模和丝网印刷及烧结等步骤。本发明采用印刷非晶硅浆料、烘干实现...
该专利属于东方日升(常州)新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东方日升(常州)新能源有限公司授权不得商用。

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