下载大尺寸工件垂直度检测的光电图像测量仪及测量方法的技术资料

文档序号:23286101

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本发明提供了大尺寸工件垂直度检测的光电图像测量仪及测量方法,解决现有垂直度测量操作复杂、耗时费工且测量精度低的问题。其包括测量单元以及控制单元;测量单元包括壳体;壳体前端设置前窗口,后端设置通孔;壳体内由前端向后端依次设置光路切换单元、光学...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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