下载微流量泵的技术资料

文档序号:23284924

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本发明提供一种微流量泵,壳体组件;压电致动组件,压电致动组件位于壳体组件内,压电致动组件包括:自由部,自由部与壳体组件相互移动连接;固定部,固定部与壳体组件相连接;第一活塞组件,第一活塞组件位于壳体组件内,第一活塞组件与壳体组件移动连接;第...
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