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本发明提供一种直拉式单晶硅棒的生产设备，本发明包括：炉腔、炉底座，炉底座上开设供坩埚托杆升降的通孔，还包括：设置在炉腔和炉底座内侧的保温结构、设置在炉腔和炉底座外壁的多个微波发射器、设置在坩埚托杆上或是设置在石英坩埚与坩埚托杆之间的微波热源...
该专利属于大连威凯特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连威凯特科技有限公司授权不得商用。

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