温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明一种基于MEMS工艺的纯碱金属原子微型气室的制备方法，包括RCA清洗、光刻、刻蚀低温阳极键合、划片阶段。可制造出高精度、低应力、高纯度的MEMS原子气室，（1）避免了玻璃‑硅‑玻璃常规原子气室不同质造成原子退极化驰豫引起的噪声问题。（...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。