下载一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统的技术资料

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本实用新型公开了一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统,用于呈一定间距分布的面发射光电芯片阵列的光电性能检测,包括转移驱动装置、转移头、衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台、光学探测器,所述衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台依次排...
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