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本实用新型公开了一种尾气处理系统，涉及多晶硅加工技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的尾气处理系统。本实用新型的主要技术方案为：一种尾气处理系统，包括：精馏部，所述精馏部用于精馏尾气；存储部，用于存储氯硅烷；冷却部，所述冷却部包括空...
该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。

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