下载一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置的技术资料

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本实用新型涉及一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置,包括转轴、pp支架和背面刷,pp支架呈圆盘状,pp支架的下端中部竖直安装有转轴,转轴中空,pp支架上端安装有背面刷,背面刷包括不锈钢圆盘和聚氨酯耐磨海绵,不锈钢圆盘下端与pp支架固定,不锈钢...
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