温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种堆叠式图像传感器及其形成方法,采用多片晶圆堆叠形成图像传感器,包括如下步骤:A.在第一晶圆上形成像素单元的感光二极管,并形成组成对应完整像素单元的部分晶体管;B.将第一晶圆与第二晶圆完成晶圆级键合;C.减薄第二晶圆;D.在与第...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种堆叠式图像传感器及其形成方法,采用多片晶圆堆叠形成图像传感器,包括如下步骤:A.在第一晶圆上形成像素单元的感光二极管,并形成组成对应完整像素单元的部分晶体管;B.将第一晶圆与第二晶圆完成晶圆级键合;C.减薄第二晶圆;D.在与第...