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本实用新型公开一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，包括：托板；挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。本实用新型采用托板与加强板固接双层组合的形式，提高了托盘强度，耐用不易...
该专利属于宁波科田磁业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波科田磁业有限公司授权不得商用。

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