温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种六氟化硫气体的膜分离、精馏回收装置，包括工艺部分和控制部分。工艺部分包括气体收集气柜、气动阀组、压缩机、球阀、气体暂存槽、电动阀组、冷凝器、膜前精密过滤器BFi‑1、膜分离器、电动阀、1#精馏塔、2#精馏塔、电动阀。控制...
该专利属于山东飞源气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东飞源气体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。