下载一种CVD相关设备的翻面装置的技术资料

文档序号:23220925

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本实用新型公开了一种CVD相关设备的翻面装置,包括第一运输小车,所述装置还包括翻转机构和设于翻转机构上的承载安装结构,所述第一运输小车设有用于定位翻转机构的定位机构和用于夹装翻转机构的夹持机构,且第一运输小车预留有翻转空间。本实用新型解决了...
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