下载一种碳化硅纳米线阵列基压电纳米发电机的制备方法的技术资料

文档序号:23214890

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本发明提供了一种碳化硅纳米线阵列基压电纳米发电机的制备方法,其步骤包括:将碳化硅单晶片切割成碳化硅片,然后对碳化硅片进行超声清洗和化学腐蚀,除去碳化硅片表面的氧化物;以碳化硅片和石墨片分别作为阳极和阴极,在蚀刻溶液中通电进行阳极氧化,制得碳...
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