下载电容式气体传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:23211783

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本发明提供一种电容式气体传感器及其制造方法,其中所述电容式气体传感器包括:第一电极(210;310;410;510);第二电极(220;320;420;520);气敏电介质材料(240;340;440;540),其布置在第一和第二电极之间以...
该专利属于梅斯法国公司所有,仅供学习研究参考,未经过梅斯法国公司授权不得商用。

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