下载一种低导通电阻高耐压能力的宽禁带半导体整流器件的技术资料

文档序号:23192554

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本发明涉及一种低导通电阻高耐压能力的宽禁带半导体整流器件,包括:第一金属电极,位于第一金属电极上依次设有重掺杂第一导电类型导电层和轻掺杂第一导电类型导电层,所述轻掺杂第一导电类型导电层内设有深沟槽结构,在所述深沟槽结构槽底设有第二导电类型区...
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