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本发明具体涉及一种多光谱显微自动聚焦装置及方法，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块、多光谱图像传感器，高精度载物台，图像分析及载物台控制系统，所述图像分析及载物台控制系统用于根据获得的离焦量值及离焦方向信号调节高精度载物...
该专利属于宁波五维检测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波五维检测科技有限公司授权不得商用。

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