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一种金刚石薄膜的制备方法技术
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文档序号:23188138
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本发明公开了一种金刚石薄膜的制备方法,属于金刚石制备技术领域。该制备方法包括如下步骤:将预处理过的多孔金属基体置于热丝化学气相沉积装置的反应室中,向反应室中充入反应气体,令反应气体在多孔金属基体表面生长形成金刚石/碳化硅/金属复合薄膜;腐蚀...
该专利属于杭州超然金刚石有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州超然金刚石有限公司授权不得商用。
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