下载台面结构PNP型肖特基集电区SOI SiGe HBT结构的技术资料

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本实用新型提供一种台面结构PNP型肖特基集电区SOI SiGe HBT结构,包括单晶硅衬底及层叠于单晶硅衬底表面的埋氧层构成的SOI衬底,埋氧层表面顺序层叠有P型重掺杂单晶硅层、金属硅化物薄层、N型重掺杂Si...
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