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一种微流控芯片的微结构模芯及其制造方法技术
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文档序号:23164511
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一种微流控芯片(40)的微结构模芯(30)及其制造方法,包括步骤:将模芯(30)安装在五轴加工中心的工作台上,并将微铣刀以及微细磨头(20)安装于五轴加工中心的刀架上;微铣刀按预设的第一加工轨迹在模芯(30)的表面粗加工铣削成形出具有特定形...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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